SRX System

Das SRX System ist speziell entwicklet worden für rapid thermal processing (RTP) in die Halbleiterindustrie.

Dafür hat es eine höhe mess- und Reglerfrekwenz von nicht weniger als 40 Messungen & PID Berechnungen pro Sekunde.

Broschüre SRX Serie

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Messfrequenz

Das SRX-System hat eine schnelle Messfrequenz von 40 Messungen und PID Berechnungen pro Sekunde.

Dual-Loop-Steuerung

Die Steuerung mit zwei Regelkreise kann in ein kompaktes Modul ausgeführt werden. Für eine Steuerung mit 62 Regelkreise können maximal 31 Modulen angeschlossen werden.