SRX systeem

Het SRX systeem is speciaal ontwikkeld voor rapid thermal processing (RTP) in de halfgeleider industrie.

Het heeft daarvoor een hoge meet- en regelfrequentie van maar liefst 40 metingen & PID calculaties per seconde.

– SRX algemene brochure

Klik hier om eenvoudig een offerte aan te vragen.

Meetfrequentie

Het SRX systeem beschikt over een snelle meetfrequentie van 40 metingen/PID calculaties per seconde.

Dual loop control

Dual loop control kan worden uitgevoerd met een enkele compacte module. Er kunnen maximaal 31 modules aangesloten worden voor een besturing met 62 regellussen.